华海清科--拟审批公示

建设项目名称

建设单位名称

建设地点

环评文件编制单位名称

建设项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

建设单位开展的公众参与情况

公示起止日期

华海清科高端半导体设备产线改造项目

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天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号（含聚福道8号）

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登录后查看公司（以下简称“建设单位”）位于天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号，在天津海河工业区内，厂区占地面积69426.1m²。建设单位最初主要从事CMP设备及配套耗登录后查看公司发展过程中为适应市场需求，开发出晶圆再生加工服务、关键耗材维保服务等。厂内现有1套CMP组装及测试生产线，组装及测试能力300台/年，其中Universal系列型号为210台/年，Gringding系列型号为90台/年。

出于公司战略及预期市场需求考虑，建设单位拟投资10000万元建设“华海清科高端半导体设备产线改造项目”，扩大现有CMP设备生产规模，具体建设内容包括：①登录后查看公司登录后查看公司”，位于聚福道8号）部分厂房进行局部装修改造，建设1套CMP组装及测试生产线，新增CMP机台组装及测试规模200台/年，CMP机台型号为Universal S系列；②在现有CMP及晶圆再生厂房一层预留区域设置管路清洗间并新增1套PFA管路清洗设备，用于对CMP机台使用的PFA管路进行清洗，管路清洗能力14.4万米/年，可满足新增生产的200台/年CMP机台组装使用；③配套建设氮气、压缩空气供气系统等配套设施。

（1）废气

本项目PFA管路清洗机、化学溶液供应设备产生的管路清洗废气，经收集后排入现有废气收集管道，并依托现有水洗塔处理，后通过现有1根32.5m高工艺废气排气筒（DA002）排放。

工艺废气排气筒（DA002）排放的氯化氢满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准限值要求，排放的氨、臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）表1中标准限值要求，可以实现达标排放。

（2）废水

本项目含氨废水依托现有含氨废水预处理设施进行处理后，出水与生活污水、回用水系统浓水一并通过污水总排口（DW001）排入市政污水管网，最终进入咸水沽污水处理厂进一步处理；CMP测试废水、酸性废水进入综合调节池，后依托现有回用水系统处理

本项目建成后，全厂排放废水污染物可以满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）间接排放标准限值要求，可以实现达标排放。

（3）噪声

本项目通过合理布局，建筑隔声，安装减振基垫等，并选取低噪声设备降低噪声对环境的影响。

经预测，本项目噪声源的贡献值叠加在建项目预测值后，现有厂区东、北厂界昼间、夜间预测值够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求，南厂界昼间、夜间预测值够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）4类标准要求，可实现现有厂区厂界达标排放；本项目噪声源对新租赁厂区东、南、北厂界贡献值，够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求，可以实现新租赁厂区厂界达标排放。

经预测，本项目噪声源的贡献值叠加声环境保护目标现状值后，海河文化创意产业园声环境质量预测值满足《声环境质量标准》（GB3096-2008）2类标准要求，满足标准要求。

（4）固体废物

本项目产生的废边角料（S₁）、晶圆碎片（S₂）、其他废弃包装物（S₄）和废水处理污泥（S₇）为一般工业固体废物，经收集后交由物资回收部门处理或利用；硫酸铵溶液（S₆）一般工业固体废物，经收集后交由有回收处理能力的单位进行回收利用。

本项目新增的生活垃圾（S₅）集中收集后，定期交由城市管理部门清运。

本项目新增的废包装容器（S₃）为危险废物，经危废暂存间暂存后，定期交由有危险废物处理处置资质的单位进行处理。

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2026.10.13-2026.10.19