晶圆传输机构（SZTUWSJJ2600358）采购公告

项目名称	晶圆传输机构	项目编号	登录后查看
公示开始日期	登录后查看 16:59:11	公示截止日期	登录后查看 17:00:00
采购单位	深圳技术大学	付款方式	合同签订并收到发票后10个工作日内，支付合同总价50%的款项。验收合格后，采购人支付合同总价50%的款项
履约保证金	无履约保证金
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后10工作日	到货时间要求	签约后30个自然日
预算	￥ 422,000
供应商资质要求	;  不同供应商的法定代表人、主要经营负责人、项目投标授权代表人、项目负责人、主要技术人员不得为同一人、属同一单位或者在同一单位缴纳社会保险；不同投标供应商的投标文件不得由同一单位或者同一人编制；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加本项目采购活动 (必选)
收货地址	广东省深圳市坪山区兰田路深圳技术大学

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位	所属分类
晶圆传输机构	1	台	其他电气设备

预算	￥ 422,000
技术参数	1.双臂晶圆机器人，真空吸附型陶瓷叉指，符合SEMI防静电规范；晶圆传输机构包含晶圆机器人、晶圆装载器、晶圆对准器、晶圆读码器以及相关软件等； 2.晶圆机器人重复定位精度≤0.02mm，手臂末端振幅≤0.01mm; 3.晶圆机器人Z轴行程≥400mm，旋转轴无死角，取放半径≥600mm； 4.晶圆机器人实现探片、取片、对准、读码、检测、换片、放片一整套逻辑流程，总时间≤30秒； 5.晶圆装载器可一次性装载≥5个卡塞，合计125片晶圆，卡塞放置异常自动报警； 6.晶圆对准器中心对准精度≤0.02mm，角度对准精度≤0.01度，对准过程全自动，寻边时间≤3秒； 7.晶圆读码器可识别SEMI OCR字符、SEMI DM码等，内置AI算法，适配浅刻、模糊、反光等字符，同时支持晶圆正面和背面的字符识别，识别率≥99.5%； 8.开放所有控制程序源代码，支持二次开发； 9.晶圆传输机构包含1套晶圆机器人、1套晶圆装载器、1套晶圆对准器、1套晶圆读码器以及配套的控制和识别软件；
售后服务	质保期： 2年，自货物验收合格之日起生效，质保期内无偿提供现场售后服务。

深圳技术大学

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