准分子激光器采购采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

盛方科技、琴江科技、蔓尔光电

型号

PLD20L、EL20、MR102

技术规格及参数

1.1激光波长248±1nm
1.2最大单脉冲能量≥800mJ
1.3稳定功率≥10W
1.4最大重复频率≥20Hz
1.5脉冲宽度（FWHM）：25~30 ns
1.6能量稳定性≤1%
1.7光斑尺寸：(26±2)×(10±2) mm
1.8发散角≤3×1mrad2
1.9激光器内置有能量检测模块
1.10工作气体易于更换，单次配气气体静态寿命不少于14天（即14天后能量>400mJ）
1.11激光器整体尺寸<长1700mm×宽450mm×高900mm
1.12验收时须在现场进行波长测试、脉冲能量稳定性测试
响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

质保期

自产品交货并验收合格之日起【1】年；

售后要求

竞价供应商不得私自改装配件交货，为保证货物的原装性，所有配置是原厂整机出厂，保证完整包装不开封，供应商在交货环节需提供售后服务承诺函原件，否则不予验收；招标人报修后，【24】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，提供相同档次、功能的设备给招标人代用。