2025年7月18日市数据局拟批准环境影响报告表的情况（新吴区）

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项目名称

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建设单位

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项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

公众反馈意见的联系方式

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无锡中微掩模电子有限公司掩模制造能力提升建设项目

无锡市新吴区菱湖大道202号

无锡中微掩模电子有限公司

无锡新视野环保有限公司

无锡中微掩模电子有限公司拟投资56603万元，利用现有厂房改造，引进40纳米节点电子束曝光机及软件16台（套），将现有6000片/年的掩模版制造能力由130纳米提升至40纳米；其余9000片/年掩模版制造能力不变，仍为130纳米，但根据现有下游客户要求提升，130纳米生产工艺也同步进行改建，提升掩模版品质。本项目建成后，掩模版生产能力为15000片/年，改建前后全厂产能不变。

（1）废水：本项目营运过程中产生的废水主要为生活污水、自来水制纯水浓水、清洗废水（不含氮）、含氮废水（高浓度+低浓度）、冷却塔排水、初期雨水。清洗废水（不含氮）经预处理系统（调节+中和+沉淀）处理，生活污水经化粪池、隔油池预处理后，以上经预处理的废水和自来水制纯水浓水一并接入太湖新城污水处理厂处理，COD、SS、NH3-N、TN、TP执行《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）中表1间接排放限值；动植物油执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准：COD≤300mg/L、SS≤250mg/L、氨氮≤20mg/L、总氮（以N计）≤35mg/L、总磷（以P计）≤5mg/L、动植物油≤100mg/L。含氮废水（高浓度）经高浓度废水预处理系统（工艺为“调节池+反应沉淀+压滤”）处理，含氮废水（低浓度）冷却塔排水、初期雨水经低浓度废水预处理系统（工艺为“调节池+砂滤+碳滤”）处理，以上废水与纯水制备浓水(中水)一并经“膜处理（一级RO+二级RO+DTRO 系统）+MVR蒸发+干燥结晶”处理后部分回用于冷却塔、喷淋塔，其余经纯水制备(中水)系统处理后回用于含氮清洗工序，回用水执行《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T19923-2024）表1中“工艺用水”标准限值。（2）废气：本项目显影废气经管道收集（收集效率为95%）二级活性炭吸附装置（处理效率90%）后通过15m排气筒DA001排放；干法蚀刻、湿法蚀刻、干法蚀刻（MoSi蚀刻、石英蚀刻）、一次检测、二次检测废气经全密闭收集（收集效率为100%）；去光刻胶、一次清洗、二次清洗废气经管道收集（收集效率为95%）后，以上废气经硫酸喷淋装置+碱液喷淋装置+除湿+一级活性炭吸附装置处理（处理效率90%）后通过15m排气筒DA002排放。本项目排放的硫酸雾、氟化物、异丙醇、氮氧化物、非甲烷总烃、氯化氢、氨达到《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3标准；铬酸雾达到江苏省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准。（3）噪声：本项目的噪声设备经合理布局，噪声源经厂房隔声、距离衰减后，厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类标准，项目噪声对周围环境影响较小。（4）固废：按“减量化、资源化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施，实现固体废物零排放。项目营运过程中产生的中水废过滤介质、废灯管（不含汞）、废活性炭、在线监测废液等危险废物须委托有资质单位处置，实施转移前必须向环保行政管理部门申报转移手续。厂内危险废物的收集和贮存须符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）《省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见》（苏环办[2019]327号）、《江苏省固体废物全过程环境监管工作意见》（苏环办[2024]16号）等文件要求。

0510****57，xinwuhuanbao@163.com

公开时间：2025年7月18日~2025年7月24日（5个工作日）

听证权利告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。

项目概况

本项目「2025年7月18日市数据局拟批准环境影响报告表的情况（新吴区）」位于江苏省无锡市，属于木材家具制品类前期工程项目，所属木材家具制品专题，工程类型为新建。

建筑面积待确认，目前处于立项审批阶段，预计2025-09-16开工、2027-03-10竣工。

版本类型 版本1；发布于 2025-07-18。

前期工作进展

立项审批：进行中；项目设计：设计单位未确定；主体施工/主设备安装：主体施工单位未确定；工程分包：未能获取分包详情。

参建单位与信息说明

该项目已录入相关单位 1 家，按角色分布为业主单位 1 家。

以上信息由中策大数据持续跟踪更新；完整建设内容、主要采购设备清单与参建单位的单位名称、联系人及联系电话等会员内容，登录可查看。您也可以拔打客服电话0755-26921213咨询该项目最新进展。

业主单位

单位：无锡************登录可查看

联系人：登录可查看

手机：051*****757登录可查看